手套箱的气体净化系统为什么需要再生-大昌华嘉半导体和电子

手套箱的气体净化塔中填充有水和氧的吸附材料，这种新材料具有强的吸附能力和快的吸附速率随着被吸附杂质质量的增加，吸附剂的吸附速率将逐渐降低，使手套箱中的水和氧气浓度逐渐增加。

此外，如果在运行过程中引入少量水氧，且水氧浓度增加，当水氧浓度或水氧浓度达到不可接受的恢复时间时，需要很长时间才能恢复到运行前水平，净化塔需要再生。

1）净化柱的吸附能力，即当吸附柱对杂质的吸附能力达到一定量时，其净化能力不能再将水氧浓度维持在要求的范围内或水氧浓度的回收率不能满足要求。

2）手套箱泄漏率和运行中引入的杂质质量。

3）向手套箱中引入少量的水和氧气，但按照操作程序，只要没有严重的误操作，向手套箱中引入水和氧气是非常有限的，运行一年内引入的水和氧气量不超过净化塔的吸附能力。

可以看出，只要遵守手套箱的操作规则，杂质进入手套箱的主要通道是通过手套箱和手套之间的连接，因此，手套箱的泄漏率决定了再生间隔，通常在一个月到一年之间。