真空手套箱操作步骤-大昌华嘉半导体和电子

1、本产品分为两部分：主箱和过渡室主箱不能单独抽真空，过渡室可以单独抽真空。

2、首先打开过渡室内部的门，然后关闭过渡室外部的所有手套接口压盖、阀门和门。

3、打开手套口之间的三通阀（逆时针旋转），将手套接口压盖和手套之间的空间连接到手套箱上，以便在抽气过程中同时对手套内外（手套箱和手套接口）进行抽真空，以保持两侧气压平衡。

4、将真空泵连接到过渡室中的阀门上，启动真空泵，缓慢打开阀门并将空气泵入系统（如果阀门打开过快，可能导致手套膨胀）。

5、当真空表指针下降并稳定在-01mpa时，真空泵此时完成，先关闭阀门，然后关闭真空泵。

6、然后通过另一个阀门向罐内注入惰性气体，直接压力略高于大气压力（气压表指数为0mpa），使罐内外压力基本平衡，罐内略高于罐外，这可以确保大气不会渗透到油箱中，如果你想使油箱中的气体更纯净。